Karbon tetraflorür

Karbon tetraflorür veya R-14 olarak da bilinen tetraflorometan, en basit perflorokarbondur (CF₄). IUPAC adından da anlaşılacağı gibi, tetraflorometan, hidrokarbon metanın perflorlanmış karşılığıdır. Tetraflorometan kullanışlı bir soğutucudur, lâkin aynı zamanda da güçlü bir sera gazıdır.^[1]

Tetraflorometan, karbonun kendisi de dâhil olmak üzere herhangi bir karbon bileşiğinin bir flor atmosferinde yakılmasıyla elde edilen üründür. Hidrokarbonlarla, hidrojen florürün bir yan üründür. İlk kez 1926'da üretildiği bildirildi.^[2]

Tetraflorometan bazen düşük sıcaklıkta soğutucu (R-14) olarak kullanılır. Elektronik mikro fabrikasyonda tek başına veya silisyum, silisyum dioksit ve silisyum nitrür için bir plazma dağlayıcı olarak oksijenle kombinasyon hâlinde kullanılır.^[3]

Kaynakça[değiştir | kaynağı değiştir]

^ Siegemund, Günter; Schwertfeger, Werner; Feiring, Andrew; Smart, Bruce; Behr, Fred; Vogel, Herward; McKusick, Blaine (2002). "Fluorine Compounds, Organic". Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry
^ Greenwood & Earnshaw
^ K. Williams, K. Gupta, M. Wasilik. Etch Rates for Micromachining Processing – Part II J. Microelectromech. Syst., vol. 12, pp. 761–777, December 2003.

[1] Siegemund, Günter; Schwertfeger, Werner; Feiring, Andrew; Smart, Bruce; Behr, Fred; Vogel, Herward; McKusick, Blaine (2002). "Fluorine Compounds, Organic". Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry

[chemelem-2] Greenwood & Earnshaw

[3] K. Williams, K. Gupta, M. Wasilik. Etch Rates for Micromachining Processing – Part II J. Microelectromech. Syst., vol. 12, pp. 761–777, December 2003.

[1]

[2]

[3]

g t d İnorganik karbon bileşikleri ve ilişkili iyonlar
Bileşikler	CBr₄ • CCl₄ • CF • CF₄ • CI₄ • CO • CO₂ • CO₃ • CS • CS₂ • CSe₂ • C₃O₂ • SiC
İyonlar	Karbürler [:C≡C:]²⁻, [::C::]⁴⁻, [:C=C=C:]⁴⁻ Siyanür [:C≡N:]⁻ Siyanat [:O−C≡N:]⁻ Tiyosiyanat [:S−C≡N:]⁻ Fulminat [:C≡N−O:]⁻
Oksitler ve diğerleri	Oksitler Nitrürler Metal karboniller Karbonik asit Bikarbonatlar Karbonatlar