Fotolitografi: Revizyonlar arasındaki fark

Etkileşimli olarak geçmişe göz at

[kontrol edilmiş revizyon]

← Önceki sürümle aradaki fark Sonraki sürümle aradaki fark →

İçerik silindi İçerik eklendi

GörselVikimetin

Satır içi

Sayfanın 13.38, 19 Ekim 2020 tarihindeki hâli

365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası

Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir.^[1] Özellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.

Kaynakça

^ "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 1 Ocak 2017.

Dış bağlantılar

BYU Photolithography Resources
Semiconductor Lithography15 Ocak 2017 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Overview of lithography
Optical Lithography Introduction27 Kasım 2005 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — IBM site with lithography-related articles
Immersion Lithography Article21 Mart 2006 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography

Elektronik ile ilgili bu madde taslak seviyesindedir. Madde içeriğini genişleterek Vikipedi'ye katkı sağlayabilirsiniz.

[1] "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 1 Ocak 2017.

[1]

@@ 1. satır: / 1. satır: @@
 [[Dosya:Wafertraksystem.jpg|thumb|365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası]]
-'''Fotolitografi''', bir [[fotomaske]] kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan [[fotorezist]]in şekillendirilmesi işlemidir.<ref>{{Web kaynağı | url = https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | başlık = Fotolitografi | yayımcı = [[Boğaziçi Üniversitesi]] | arşivurl = https://web.archive.org/web/20170115160828/https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | arşivtarihi = 15 Ocak 2017 | erişimtarihi = 1 Ocak 2017 | ölüurl = no }}</ref> Özellikle [[mikroçip]] çekirdekleri ile [[cep telefonu]] parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.
+'''Fotolitografi''', bir [[fotomaske]] kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan [[fotorezist]]in şekillendirilmesi işlemidir.<ref>{{Web kaynağı | url = https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | başlık = Fotolitografi | yayımcı = [[Boğaziçi Üniversitesi]] | arşivurl = https://web.archive.org/web/20170115160828/https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | arşivtarihi = 15 Ocak 2017 | erişimtarihi = 1 Ocak 2017 | ölüurl = yes }}</ref> Özellikle [[mikroçip]] çekirdekleri ile [[cep telefonu]] parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.
 == Kaynakça ==
@@ 7. satır: / 7. satır: @@
 == Dış bağlantılar ==
 * [https://web.archive.org/web/20090506103248/http://www.ee.byu.edu/cleanroom/lithography.phtml BYU Photolithography Resources]
-* [http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html Semiconductor Lithography] {{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20170115213753/http://lithoguru.com/scientist/lithobasics.html |tarih=15 Ocak 2017 }} —  Overview of lithography
+* [http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html Semiconductor Lithography]{{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20170115213753/http://lithoguru.com/scientist/lithobasics.html |tarih=15 Ocak 2017 }} —  Overview of lithography
 * [http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/chiu.html Optical Lithography Introduction]{{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20051127142407/http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/chiu.html |tarih=27 Kasım 2005 }} —  IBM site with lithography-related articles
 * [http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 Immersion Lithography Article]{{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20060321174638/http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 |tarih=21 Mart 2006 }} — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography