Fotolitografi: Revizyonlar arasındaki fark

Etkileşimli olarak geçmişe göz at

[kontrol edilmiş revizyon]

← Önceki sürümle aradaki fark Sonraki sürümle aradaki fark →

İçerik silindi İçerik eklendi

GörselVikimetin

Satır içi

Sayfanın 11.28, 13 Mart 2018 tarihindeki hâli

365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası

Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir.^[1] Özellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.

Kaynakça

^ "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi.

Dış bağlantılar

BYU Photolithography Resources
Semiconductor Lithography — Overview of lithography
Optical Lithography Introduction — IBM site with lithography-related articles
Immersion Lithography Article — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography

Elektronik ile ilgili bu madde taslak seviyesindedir. Madde içeriğini genişleterek Vikipedi'ye katkı sağlayabilirsiniz.

[1] "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi.

[1]

@@ 1. satır: / 1. satır: @@
 [[Resim:Wafertraksystem.jpg|thumb|365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası]]
-'''Fotolitografi''', bir [[fotomaske]] kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan [[fotorezist]]in şekillendirilmesi işlemidir.<ref>{{Web kaynağı | url = https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | başlık = Fotolitografi | yayımcı = [[Boğaziçi Üniversitesi]] | arşivurl = http://web.archive.org/web/20170115160828/https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | arşivtarihi = 15 Ocak 2017}}</ref> Öözellikle [[mikroçip]] çekirdekleri ile [[cep telefonu]] parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.
+'''Fotolitografi''', bir [[fotomaske]] kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan [[fotorezist]]in şekillendirilmesi işlemidir.<ref>{{Web kaynağı | url = https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | başlık = Fotolitografi | yayımcı = [[Boğaziçi Üniversitesi]] | arşivurl = http://web.archive.org/web/20170115160828/https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | arşivtarihi = 15 Ocak 2017}}</ref> Özellikle [[mikroçip]] çekirdekleri ile [[cep telefonu]] parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.
 == Kaynakça ==