Taramalı elektron mikroskobu: Revizyonlar arasındaki fark
| [kontrol edilmiş revizyon] | [kontrol edilmiş revizyon] |
Khutuck Bot (mesaj | katkılar) k Bot: Duzeltme |
|||
| 20. satır: | 20. satır: | ||
{{Link KM|fr}} |
{{Link KM|fr}} |
||
{{Link SM|hu}} |
{{Link SM|hu}} |
||
[[ar:مجهر إلكتروني ماسح]] |
|||
[[bg:Сканиращ електронен микроскоп]] |
|||
[[ca:Microscopi electrònic de rastreig]] |
|||
[[cs:Rastrovací elektronový mikroskop]] |
|||
[[de:Rasterelektronenmikroskop]] |
|||
[[el:Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης]] |
|||
[[en:Scanning electron microscope]] |
|||
[[es:Microscopio electrónico de barrido]] |
|||
[[et:Skaneeriv elektronmikroskoop]] |
|||
[[fa:میکروسکوپ الکترونی روبشی]] |
|||
[[fr:Microscopie électronique à balayage]] |
|||
[[ga:Leictreonmhicreascóp scanacháin]] |
|||
[[hu:Pásztázó elektronmikroszkóp]] |
|||
[[it:Microscopio elettronico a scansione]] |
|||
[[ja:走査型電子顕微鏡]] |
|||
[[lb:Rasterelektronemikroskop]] |
|||
[[ms:Mikroskop elektron pengimbas]] |
|||
[[nl:Rasterelektronenmicroscoop]] |
|||
[[pl:Elektronowy mikroskop skaningowy]] |
|||
[[pt:Microscópio eletrônico de varredura]] |
|||
[[ru:Растровый электронный микроскоп]] |
|||
[[simple:Scanning electron microscope]] |
|||
[[sl:Vrstični elektronski mikroskop]] |
|||
[[sv:Svepelektronmikroskop]] |
|||
[[ta:அலகிடு எதிர்மின்னி நுண்ணோக்கி]] |
|||
[[uk:Скануючий електронний мікроскоп]] |
|||
[[vi:Kính hiển vi điện tử quét]] |
|||
[[zh:扫描电子显微镜]] |
|||
Sayfanın 16.16, 14 Mart 2013 tarihindeki hâli
Taramalı Elektron Mikroskobu veya SEM (Scanning Electron Microscope), çok küçük bir alana odaklanan yüksek enerjili elektronlarla yüzeyin taranması prensibiyle çalışır. Manfred von Ardenne öncülüğünde 1930'lı yıllarda geliştirilmiştir. En sık kullanıldığı biçimiyle, yüzeyden yayılan ikincil (secondary) elektronlarla yapılan ölçüm, özellikle yüzeyin engebeli (topografik) yapısıyla ilişkili bir görüntü oluşturur.
Çalışma Prensibi
Yüksek enerjili demet elektronları numune atomlarının dış yörünge elektronları ile elastik olmayan girişimi sonucunda düşük enerjili Auger elektronları oluşur. Bu elektronlar numune yüzeyi hakkında bilgi taşır ve Auger Spektroskopisinin çalışma prensibini oluşturur. Yine yörünge elektronları ile olan girişimler sonucunda yörüngelerinden atılan veya enerjisi azalan demet elektronları numune yüzeyine doğru hareket ederek yüzeyde toplanırlar. Bu elektronlar ikincil elektron (seconder electrons) olarak tanımlanır. İkincil elektronlar numune odasında bulunan sintilatörde toplanarak ikincil elektron görüntüsü sinyaline çevrilir. İkincil elektronlar numune yüzeyinin 10 nm veya daha düşük derinlikten geldiği için numunenin yüksek çözünürlüğe sahip topografik görüntüsünün elde edilmesinde kullanılır
Görüntü Almadaki Değişkenler
- Uygulanan Voltaj ( keV )
- Çalışma Aralığı (mm )
- Objektif Açıklığı ( µm )
Dış bağlantılar
- [1] SEM ile ilgili bilgiler (ingilizce).