Elektron demeti litografisi

Vikipedi, özgür ansiklopedi
Gezinti kısmına atla Arama kısmına atla
Bir elektron demeti litografisi kurulumu.

Elektron demeti litografisi, odaklanmış bir elektron demeti ile, elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir.[1] Elektron demeti bu malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek, istenilen kısımlarda bu malzemenin kalkmasını sağlayarak çizimler yapılmasını mümkün kılar.

Kaynakça[değiştir | kaynağı değiştir]

  1. ^ McCord, M. A.; Rooks, M. J. (2000). SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication (İngilizce).