Elektron demeti litografisi

Vikipedi, özgür ansiklopedi
Bir elektron demeti litografisi kurulumu.

Elektron demeti litografisi, odaklanmış bir elektron demeti ile, elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir.[1] Elektron demeti bu malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek, istenilen kısımlarda bu malzemenin kalkmasını sağlayarak çizimler yapılmasını mümkün kılar.

Kaynakça[değiştir | kaynağı değiştir]

  1. ^ McCord, M. A.; Rooks, M. J. (2000). SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication (İngilizce). 19 Ağustos 2019 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 23 Kasım 2019.