Mikrofabrikasyon
Mikrofabrikasyon, mikrometre ölçekli yapılar üzerinde çalışan bir üretim tekniğidir. İlk örnekleri tümleşik devreler üzerinde uygulanan teknik "yarı iletken aygıt üretimi" olarak da adlandırılmaktadır. Nanometre ölçeğinde çalışan mikro elektro-mekanik sistemler üzerindeki araştırmalar da mikrofabrikasyon tekniğinin gelişimini hızlandırmıştır.
 | Teknoloji ile ilgili bu madde taslak seviyesindedir. Madde içeriğini genişleterek Vikipedi'ye katkı sağlayabilirsiniz. |