Elektron demeti litografi

Vikipedi, özgür ansiklopedi
20.47, 3 Aralık 2020 tarihinde Khutuck Bot (mesaj | katkılar) tarafından oluşturulmuş 24203525 numaralı sürüm (Bot v3: Kaynak ve içerik düzenleme (hata bildir))
Bir elektron demeti litografisi kurulumu.

Elektron demeti litografisi, odaklanmış bir elektron demeti ile, elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir.[1] Elektron demeti bu malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek, istenilen kısımlarda bu malzemenin kalkmasını sağlayarak çizimler yapılmasını mümkün kılar.

Kaynakça

Şablon:Portal

  1. ^ McCord, M. A.; Rooks, M. J. (2000). SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication (İngilizce). 
"https://tr.wikipedia.org/w/index.php?title=Elektron_demeti_litografi&oldid=24203525" sayfasından alınmıştır