Fotolitografi: Revizyonlar arasındaki fark
| [kontrol edilmiş revizyon] | [kontrol edilmiş revizyon] |
İçerik silindi İçerik eklendi
Khutuck Bot (mesaj | katkılar) k Bot: Kaynak ve içerik düzenleme (hata bildir) |
4 kaynak kurtarıldı ve 0 kaynak ölü olarak işaretlendi.) #IABot (v2.0.7 |
||
| 8. satır: | 8. satır: | ||
* [https://web.archive.org/web/20090506103248/http://www.ee.byu.edu/cleanroom/lithography.phtml BYU Photolithography Resources] |
* [https://web.archive.org/web/20090506103248/http://www.ee.byu.edu/cleanroom/lithography.phtml BYU Photolithography Resources] |
||
* [http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html Semiconductor Lithography] — Overview of lithography |
* [http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html Semiconductor Lithography] — Overview of lithography |
||
* [http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/chiu.html Optical Lithography Introduction] |
* [http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/chiu.html Optical Lithography Introduction]{{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20051127142407/http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/chiu.html |tarih=27 Kasım 2005 }} — IBM site with lithography-related articles |
||
* [http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 Immersion Lithography Article] |
* [http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 Immersion Lithography Article]{{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20060321174638/http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 |tarih=21 Mart 2006 }} — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography |
||
{{elektronik-taslak}} |
{{elektronik-taslak}} |
||
Sayfanın 06.38, 12 Ekim 2020 tarihindeki hâli
Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir.[1] Özellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.
Kaynakça
- ^ "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 1 Ocak 2017.
Dış bağlantılar
- BYU Photolithography Resources
- Semiconductor Lithography — Overview of lithography
- Optical Lithography Introduction27 Kasım 2005 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — IBM site with lithography-related articles
- Immersion Lithography Article21 Mart 2006 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography
 | Elektronik ile ilgili bu madde taslak seviyesindedir. Madde içeriğini genişleterek Vikipedi'ye katkı sağlayabilirsiniz. |